密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />
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PECVD
★系統(tǒng)組成:電動取樣桿+進樣腔+工藝腔
★基片尺寸:300mm x 300mm
★蒸鍍方式:樣品臺旋轉(zhuǎn)式
★進樣腔:可放4片樣品
★工藝腔:配置4個40cc 點源,滿足BCP,C60,LiF,金屬蒸鍍
★膜厚均勻性:
真空:(9E-05)Pa小于24小時之內(nèi)
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