密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過(guò)程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />
★整機(jī)外形尺寸:L1000×W750×H1600(mm)
★反應(yīng)腔尺寸:520×520×H600(mm),約150L
★清潔尺寸:500×500mm
★射頻電源:13.56MHz,600W
★氣體流量控制:1-2路質(zhì)量流量控制器(0~500SCCM)
★工作氣體:氧、氬氣,另提供一路氮?dú)庥糜诶鋮s樣品(高純,用戶自備)
★壓縮空氣:接口壓力大于0.5MPa(用戶自備)
★真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng):配備一臺(tái)8L機(jī)械泵,抽氣管道采用不銹鋼真空波紋管,
★控制方式:采用10寸觸摸屏+PLC組成的人機(jī)界面控制方式,操作方式包括手動(dòng)模式或自動(dòng)模式,在自動(dòng)模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理,可同時(shí)存儲(chǔ)100組不同配方。使用時(shí)只需將相應(yīng)配方號(hào)調(diào)出即可。